优势
- 提供准确的成分和晶体学数据采集 ，比其他系统快 3.5 倍以上
- 扩展您对非常广泛材料的分析能力，包括复杂样品
- 在几分钟而不是几小时甚至几天内出结果
- 在EBSD采集条件下提供优异的成分分析结果
- 使用 APEX™ 软件，通过单个 EDS – EBSD 界面优化分析过程
作为一种独立的技术，EBSD 非常擅长根据晶体结构差异来区分不同相。然而，当您将 EDS 的化学组分与 EBSD 的晶体学结构数据相结合时，它可以高效区分具有相似晶体结构的相，并消除多相样
品中鉴定中的偏差.
图1. Pegasus 通过一次电子束扫描即可提供可靠的结果。该图显示了对Cu样品使用Velocity EBSD 探测器进行分析的同时，不同EDS探测器面积下的输入计数，加速电压为20 kV, 束流为20 nA。
为了实现这一突破性的协同作用，Pegasus 利用 EDAX Velocity™和 Clarity™ EBSD 系统来采集晶体结构信息。取决于您的研究要求，Velocity 相机可对多种样品类型进行高速采集，而 Clarity 直接电子检测器则是电子束敏感样品的理想选择，采集电压可低至 3 kV，比其它系统结果更佳.
此外，EDAX Octane Elect 和 Octane Elite EDS 探测器的效率比其它系统快3.5倍以上，Pegasus 利用这一点，联用时在EBSD的采集条件下获得更优异的结果。使用 Octane Elite Ultra，您可以在高至30 kV 的加速电压下扩展对对轻元素和重元素的敏感性，不需要辅助EDS 探测器，作为独立系统或进行EDS-EBSD 联用，满足您苛刻的应用需求.
直观的 APEX 软件连接了强大的 EDS-EBSD 分析程序，以快速、轻松、可靠地采集和分析高质量数据。与 EDAX 硬件的结合提高了用户的工作效率，并为 EDS – EBSD联用 表征微观结构提供了优化解决方案.
图 2. Pegasus 在 EBSD 采集条件下进行优化的成分分析，对因倾斜引起的吸收效应进行校正，并产生与典型 EBSD 条件下的常规分析相当的 EDS 结果。右图显示，在 EBSD 分析中，典型的 70° 样品倾斜条件下，EDS结果的at% 精度等于或接近 100%。上述数据是在 20 kV 加速电压、2.5 nA 束流和 100k cps EDS 计数率下采集的。